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在一定温度下,氮气中的残氧与碳载催化剂提供的碳发生氧化反应:C+O2=CO2。生成的CO2和水份经变压吸附工艺去除,及深度脱水,再经精密过滤器除去颗粒杂质。得到高达99.9995%以上纯度的氮气。
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